本发明涉及一种用于大功率射频源的高性能末级输出系统，包括：腔体，设置在腔体内的电感和电容，电容包括第一电容和第二电容；电感的一端外接大功率射频源的功率放大器，电感的另一端分别与第一电容和第二电容的一端连接，第一电容的另一端为射频输出端，...

本发明涉及一种具有自补偿功能的射频匹配箱，包括：位于壳体内的平板电容，其包括：金属间隔座，以及水平放置且从下往上依次间隔排列的低压电容调节片、高压电容固定片和高压电容调节片；高压电容固定片的一端与壳体绝缘固定连接，另一端与电感耦合等离子...