本发明公开了一种无损清洁的功能膜结构及其制备方法，属于半导体设备维护技术领域，包括依次层叠设置的刚性支撑层、界面锚定层、过渡层、清洁层和防护层；其通过设置界面锚定层，在刚性支撑层与柔性过渡层之间形成强结合界面，并通过设置过渡层缓解界面锚...

本发明公开了一种用于卡盘清洁的吸附性薄膜及其制备方法，属于半导体制造装备维护技术领域，包括粘接层和吸附层；其通过将吸附层设置为微气泡结构，以利用封闭气泡和开口气泡的弹性形变，提高吸附层的延展性；在外加压力作用下，利用吸附层表面开口气泡的...

本发明公开了一种用于掩膜版载物台的无损清洁膜及其制备方法、清洁方法，属于半导体制造设备技术领域，包括依次层叠设置的基板、粘连层和功能层，通过将粘连层设置为由含可水解硅烷基团的界面改性剂涂布固化而成，以通过与基板的缩合反应，在基板与功能层...

本发明公开了一种用于探针卡清洁的复合薄膜结构及其制备方法，属于半导体清洁设备制造技术领域，其通过对基板进行深度优化清洁，并对清洁效果进行量化检测，以从源头消除界面污染与吸附不良，降低因基板污染导致的薄膜脱落，同时提高后续旋涂工艺对参数波...

本发明公开了一种用于探针卡清针的复合薄膜材料及其制备方法，属于探针卡清针技术领域，包括依次层叠设置的粘接层、垫层和功能层；其通过粘接层实现复合薄膜材料与基板之间的紧密连接，通过在垫层中添加垫层颗粒，并在垫层表面形成具有宏观粗糙度的第一微...