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沃萨姆材料美国有限责任公司专利技术
沃萨姆材料美国有限责任公司共有2项专利
用于沉积含金属的薄膜的第6族脒盐桨轮状化合物制造技术
所公开并要求保护的主题涉及有机金属脒盐及胍盐桨轮状化合物、含有该化合物的组合物及使用该化合物作为前体以沉积含金属的膜的方法。方法。方法。
镧系及类镧系过渡金属的络合物制造技术
所公开并要求保护的主题提供具有至少一个栓系环戊二烯基配体(“Cp配体”)、至少一个脒化物配体(“Ad配体”)及镧系及/或类镧系过渡金属(“M”)的前体,其具有通式(i)(Cp配体)2‑
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