本发明公开了一种基于四层非等距密度梯度液与协同沉降机制的α‑Al2O3纳米颗粒高精度粒径分级方法，包括以下步骤：S1、将α‑Al2O3纳米颗粒经表面分散处理，形成质量分数为0.1–0.2 wt%的均匀颗粒悬浮液；S2、构建四层非等距密度...

本发明公开了一种基于形貌响应差异的α‑Al2O3纳米颗粒差速离心分离方法，包括以下步骤：S1：将α‑Al2O3纳米颗粒以0.55wt%的浓度分散于无水乙醇中，使用超声波装置连续分散颗粒；S2：对所得悬浮液在10000–15000rpm条...

本发明公开了一种碳化硅晶圆专用的CMP抛光液，由以下成分组成：α‑球形纳米氧化铝：5~12%；络合剂：1~5%，优选为柠檬酸；复合抑制剂：0.1~1.0%；氧化剂：0.5~3%，为过硫酸铵；分散稳定剂：0.05~0.5%；pH调节剂：四...