一种大直径立式硅片承载器的制备方法，其特点是：选用Ф20mm石英棒和Ф310mm石英片，作为制作卧式硅片承载器的原材料，石英硅含量≥99.998％；通过模具定位，沿底盘边缘竖向焊接四根石英棒；对石英棒相对的内侧分别横向进行开槽，四个石英...