硅烷气体的生产方法，它涉及一种气体的生产方法。它解决了现有生产硅烷气体的方法中存在产品纯度低、收率低及方法不能满足工业化生产的需要的问题。方法：１．称取硅粉、镁粉和氯化铵；２．将硅粉与镁粉混合反应后得硅化镁；３．将称取的氯化铵与硅化镁在...

硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法，它涉及一种气体提纯吸附剂及其制备方法。它解决了目前采用钯粉吸附剂对硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体中的杂质气体去除率低，还需要进一步协助分解的问题。提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。制...

气体提纯装置，它涉及一种气体提纯装置。本实用新型解决了现有的气体提纯制备装置在反应剂的气体提纯中渗入物的相互作用下，物质聚集在提纯装置的表面形成硬壳，阻碍气体流通，导致了气体提纯的生产速度减慢的问题。本实用新型的内缸体（２）设置在外缸体...