本发明的涂覆装置（１）具有：使涂布液得以流动的配管（１２～１４）；设置在所述配管（１２～１４）上的模头（９）；以及清洗机构（３），其具有多个储存种类互不相同的溶剂的溶剂罐（２２ａ～２２ｄ）。其中，清洗机构（３）按照从与所述涂布液具有高相...

一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，并利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，并向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征...

本发明提供一种涂覆装置（１００），其具有模头（３）、涂布液供给泵（２０）、涂布液储藏容器（１９）以及与它们相连接的涂布液配管（２１）。其中，在所述涂布液配管（２１）上连接着清洗机构（１０１），所述清洗机构（１０１）交替地送出气体和溶剂，...