本发明涉及一种用于确定激光射束（14）的功率的装置（10）。通过第一子功率计（12a）确定激光射束（14）的第一子射束（18a）的功率，其中，激光射束（14）被分束成第一子射束（18a）和主射束（20）。装置（10）具有量热式功率计（2...

本发明涉及EUV光源（1），包括：第一激光源（2），该第一激光源用于发射第一激光束（3）；第二激光源（4），该第二激光源用于发射第二激光束（5）；组合装置（6），该组合装置用于将第一激光束（3）和第二激光束（5）组合；以及还包括光束引导...

本发明涉及一种用于检测激光系统(10)的气体管线(24)中的气体泄漏的方法(30)。在此，在激光射束(14)被引导穿过用气体填充的过程腔(20)之后，用探测器来确定激光射束特性。在不同的时间点(Pi)更换所述过程腔(20)的气体，其中，...

本发明涉及用于EUV光系统（1）的观测装置（3），该观测装置用于观测用于EUV光生成的材料滴（2）。观测装置（3）包括：光学器件（6），用于将测量激光束（4）引导至材料滴（2）和沿预给定的光束路径引导对应的反射的光（7）；以及传感器系统...