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天津西青区浩博新材料有限责任公司专利技术
天津西青区浩博新材料有限责任公司共有1项专利
一种光刻胶组合物以及形成光刻胶图案的方法技术
本申请提供了一种光刻胶组合物,该光刻胶组合物包括酚醛树脂、光敏剂、产酸剂、交联剂、添加剂以及溶剂;其中,产酸剂能够促进酚醛树脂与交联剂发生交联反应,光敏剂在曝光后成为提高显影液中的溶解度因子的溶解度增强剂;其中,添加剂包括表面活性剂和溶...
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