谭文运专利技术

谭文运共有1项专利

  • 一种定向凝固生长多晶硅锭工艺,本发明属于半导体材料硅晶体的制备。以高性能的石英坩埚模具,用去离子水等作调料,将经处理的氮化硅粉料调成糊状,作脱模剂,用氩气和氮气为气氛,熔化时模具悬挂,凝固时模具支撑在水冷却的下转轴上,在下降模具的同时增...
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