本发明公开了一种高精度晶圆载台及其调节方法，高精度晶圆载台包括支撑盘、载盘和顶升机构，支撑盘包括盘体、中心体、第二密封圈和间隙调节机构，盘体的中心设有安装孔，中心体安装于安装孔内且能够沿安装孔轴线移动，中心体的上端设有所述定位凸部，中心...

本发明公开了一种晶圆厚度测量方法及装置，测量方法包括：获得吸盘上表面和标定物体的高度数据；基于获得的标定物体的高度数据获得R轴驱动组件运动误差值；基于获得的R轴驱动组件运动误差值对获得的吸盘上表面的高度数据进行误差补偿；获得被测物体上表...

本发明公开了一种三维表面形貌测量方法及装置，三维表面形貌测量方法包括：获得被测物体在不同旋转半径下不同转角的高度数据；获得标定物体不同步进点的高度数据；基于获得的标定物体不同步进点的高度数据获得被测物体不同旋转半径对应的R轴驱动组件运动...