一种载体芯片，包括在绝缘体上硅(SOI)晶片上形成的多个阱。载体芯片被设计为捕获生物细胞。SOI晶片包括顶部硅层、底部氧化物(BOX)层和硅衬底。顶部硅层和衬底的光学反射特性基本相似。通过进行蚀刻，使用BOX层作为蚀刻停止层，通过顶部硅...