本实用新型涉及一种前驱体涂布气体保护激光制备氮化钽膜装置，包括底座、喷笔和激光镜头模块，所述的喷笔和激光镜头模块设置在底座上。本实用新型通过激光镜头模块对待覆膜材料表面进行照射使之表面温度升高，喷笔中通过高压载体气体将液态的有机铵钽雾化...

本实用新型涉及一种前驱体涂布激光制备氮化钽膜装置，包括底座、喷笔和激光镜头模块，所述的喷笔和激光镜头模块设置在底座上。本实用新型通过激光镜头模块对基础材料表前驱体涂布激光制备氮化钽膜装置，其包括底座、喷笔和激光镜头模块，所述的喷笔和激光...

本实用新型涉及一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其包括反应室、感应加热系统、集液槽以及抽气注气系统；反应室包括反应槽、盖盘、第一盖帽和第二盖帽，反应槽由绝缘材料制成；盖盘盖住反应槽并密封连接，盖盘上设有一大圆孔；第一盖帽和第二盖帽不同时使...

本实用新型公开了一种溅镀沉积的反应腔体，包括有一腔体，及设于所述腔体内的护罩、托盘、夹具环和靶材固定装置，所述护罩底部设有一护罩环，该护罩环内侧区域中空，且护罩环表面设有多个沟槽；所述夹具环位于护罩环下方，所述夹具环用于放置一晶圆，所述...

本实用新型公开了一种溅镀沉积设备的晶圆夹具，在溅镀沉积工艺过程中用于承托一晶圆，所述晶圆夹具呈一圆环形，所述晶圆夹具外圈设有一组螺孔，用以将晶圆夹具固定于溅镀沉积设备上，所述晶圆夹具的内圈向环形中间处延伸有多个延伸托座，所述延伸托座用于...

本发明涉及一种氮化钽被覆钢材料的制备方法，其包括：将钢材料浸泡在导电液中，钽电极插入导电液中且钽电极接直流电源正极，钢材料表面接直流电源负极，进而在钢材料表面被覆一层前驱体，所述前驱体为包含钽盐和钽的混合物；蒸馏导电液；第一阶段热处理，...

本发明涉及前驱体涂布激光制备氮化钽膜装置及方法，装置包括底座、喷笔和激光镜头模块，所述的喷笔和激光镜头模块设置在底座上。本发明通过激光镜头模块对基础材料表面进行照射使之表面温度升高，喷笔中通过高压载体气体将液态涂料雾化并预先混合成反应前...

本发明公开了一种溅镀沉积的反应腔体，包括有一腔体，及设于所述腔体内的护罩、托盘、夹具环和靶材固定装置，所述护罩底部设有一护罩环，该护罩环内侧区域中空，且护罩环表面设有多个沟槽；所述夹具环位于护罩环下方，所述夹具环用于放置一晶圆，所述托盘...

本发明公开了一种溅镀沉积设备的晶圆夹具，在溅镀沉积工艺过程中用于承托一晶圆，所述晶圆夹具呈一圆环形，所述晶圆夹具外圈设有一组螺孔，用以将晶圆夹具固定于溅镀沉积设备上，所述晶圆夹具的内圈向环形中间处延伸有多个延伸托座，所述延伸托座用于放置...

一种晶圆夹具，用于固定放置在一操作机台上的一晶圆，晶圆夹具包含一环形的顶座、一包括一自顶座的内侧缘向环形中心延伸的主体部及数个相间隔地自主体部的内侧缘向环形中心延伸的延伸部的顶壁、一自顶座的内侧缘向下延伸并与顶壁相配合界定出一容置晶圆的...