苏州新施诺半导体设备股份有限公司专利技术

苏州新施诺半导体设备股份有限公司共有7项专利

  • 本发明揭示了一种存储盒输送系统及半导体产品加工系统,其中存储盒输送系统通过设置环形输送线并进行单向输送,结合多条供应输送线,能够有效地将存储盒从搬运车系统无法直接操作的位置输送到多个能够与搬运车对接的出口设备处,无需人工大范围搬运,从而...
  • 本发明揭示了一种空中运输车的轮参数检测方法、系统及控制器,其中空中运输车的轮参数检测方法,包括如下步骤:在确定空中运输车移动到轨道上的第一标记点和第二标记点时,分别获取伺服驱动器反馈的编码器值;根据在第一标记点和第二标记点处获取的编码器...
  • 本发明揭示了一种传送盒吹扫装置、传送盒存储装置及传送盒吹扫控制方法,本发明的传送盒吹扫装置使出气管路具有第一支路和第二支路,第一支路连接抽吸装置,控制装置可以在向传送盒内通入保护气体前,快速实现传送盒内气体的抽离,抽吸时无需使用保护气体...
  • 本发明揭示了一种料盒传送装置、其料盒传送方法及料盒传送系统,其中料盒传送装置通过设置多层取放机构,每层的取放机构包括上取放模块和下取放模块,上取放模块用于与空中搬运车对接进行料盒的取放,下取放模块用于人工取放料盒,能够有效满足与空中搬运...
  • 本发明公开了一种输送设备及输送系统,主要涉及输送设备技术领域。本发明的输送系统包括若干个输送设备,输送设备包括固定机构、传动构件、输送机构和回转机构,输送机构用于承载目标物品并沿预设方向输送目标物品,回转机构用于调整目标物品的输送方向。...
  • 本技术揭示了一种轨道系统、轮磨损检测装置及搬运系统,其中轨道系统包括轨道,轨道上的预定位置设置有用于检测在轨道上移动的车辆上的行走轮和/或导引轮的磨损情况的轮磨损检测装置,轮磨损检测装置包括连接在轨道上的框架,框架上设置有位于轨道两侧外...
  • 本技术揭示了一种搬运车及物料搬运系统,其中搬运车包括移动部,移动部上具有行走机构,所述移动部上设置有转移机构,所述转移机构包括升降组件及由所述升降组件驱动上下移动的抓取组件,所述移动部内具有收容空间,所述升降组件能够驱动所述抓取组件由所...
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