本技术公开了一种手动四工位晶圆全自动目检机，其包括机架；罩体，其罩设于机架的外侧面上，其长度方向为横向，宽度方向为纵向，罩体的纵向方向上的前侧为检测区，罩体的内部为转运区，罩体的纵向方向上的后侧为料盒区；料盒机构，其设于料盒区，其包括用...

本技术公开了一种晶圆膜厚检测设备，包括设有工作台的机柜，工作台至少具有上料、下料、寻边校准、测量及周转工位，还包括设在上料工位的第一晶圆放置机构、设在下料工位的第二晶圆放置机构、设在寻边校准工位的寻边校准机构、设在测量工位的测量机构、设...

本技术公开了一种晶圆放置机构，包括底撑架和设在底撑架上的晶圆盒，晶圆盒的一端部敞开形成取放晶圆的通道，晶圆放置机构还包括用于检测晶圆盒内的晶圆是否延伸到晶圆盒的外部的第一传感单元，第一传感单元设置在底撑架上，并设置在晶圆盒的下方，第一传...