本申请公开了一种退火炉故障诊断方法及系统。所述方法包括：获取多温区传感器数据并进行时空对齐与数据融合，构建包含状态转移参数的温度状态空间；利用状态估计与延迟补偿处理消除时间滞后影响，建立修正后的温度动态模型；基于模型计算温度偏差并分类异...