本发明涉及电子器件制造技术领域，尤其涉及一种阳极键合装置及阳极键合工艺，其技术方案包括键合腔室，所述键合腔室外部设置有装置外框，所述装置外框上端处设置有传动机构，所述传动机构下端处设置有上盘组件，所述装置外框下端处设置有下盘组件，所述装...