本申请提供了一种湿法刻蚀机台及其控制方法。所述湿法刻蚀机台包括：刻蚀槽装置，所述刻蚀槽装置包括槽体及设置于所述槽体内的自动旋转轴和多个导流喷口；所述槽体用于容置浸泡待刻蚀的晶圆的刻蚀液；所述自动旋转轴和所述晶圆接触以使所述自动旋转轴在旋...

本实用新型涉及一种吸嘴卡合装置，涉及自动化设备的技术领域，包括机架，所述机架上设置有两个振动料盘，每一振动料盘上均连接有一根下料管；所述机架上设置有管落料筒和套落料筒，所述管落料筒和套落料筒均沿竖直方向设置，两根所述下料管远离振动料盘的...

本实用新型公开了一种高兼容性吸盘，包括：上盘体和下盘体，所述上盘体可拆卸地与下盘体固定连接，所述上盘体上设置有若干个内吸孔和若干个外吸孔，下盘体上靠近上盘体的端面上开设有作为内通道的圆柱形凹槽以及作为外通道的圆环形凹槽，外通道与内通道同...

本实用新型公开了一种研磨机的冷却液循环系统，包括：研磨机体、清水池、污水池、滤芯组A以及循环流道，其特征在于，所述循环流道是依次串联研磨机体、污水池、滤芯组A、清水池、研磨机体的闭环流道；所述清水池内的液体由水泵A输送至所述研磨机体内；...

本实用新型公开了一种自动剥金机，包括：工作台、用于传送吸盘的输送带、薄膜以及剥金组件，所述工作台上安装有可转动的卷筒A，成卷的薄膜套设在所述卷筒A上，沿所述卷筒A的一侧所述工作台上还依次安装有剥金组件和可转动的卷筒B，所述工作台上对应所...