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苏州康沃斯智能装备有限公司专利技术
苏州康沃斯智能装备有限公司共有24项专利
一种晶圆烘干装置制造方法及图纸
本发明公开了一种晶圆烘干装置,其包括机架,机架上设置有烘干机构,烘干机构包括安装型材、加热台、冷却台、接料杆、凹槽、第一气缸、连接脚、滑轨、导向块、连接块和第二气缸,若干个加热台等距离设置在安装型材的上端,安装型材的上端还等距离设置有若...
一种单轨硅片收篮机制造技术
本发明公开了一种带打标的硅片收篮机,其包括机架,机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件,放料机构用于储放晶圆,其设置在传输机传输起点的一侧,搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上,传输机将晶圆输送到传输终点...
一种芯片摆盘机制造技术
本发明公开了一种芯片摆盘机,其包括机架,机架上设置有输送机构,输送机构的一侧设置有供料机构,其中段设置有定位机构,其另一侧设置有收料机构,供料机构和收料机构用于储放摆盘和托盘,本发明通过将芯片均匀铺开放置在摆盘上,然后将摆盘和空的托盘放...
一种晶圆喷砂双供料机制造技术
本发明公开了一种晶圆喷砂双供料机,其包括喷砂机,喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机,喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端,履带输送机的两端伸出喷砂机本体;喷砂机设置有两台,喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧,双供料机包括工作台、双供料机构...
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