本申请提供了一种化学计量碳化硅膜的制备方法，属于化学气相沉积技术领域。此方法包括以下步骤：S1、将基底清洗干净，放置于化学气相沉积室内；S2、对化学气相沉积室抽真空，然后用惰性气体清洗化学气相沉积室；S3、当室内温度达到预定沉积温度时，...

本申请提供了一种基于化学气相沉积工艺制备均质碳化硅膜的方法，属于化学气相沉积技术领域。此方法包括以下步骤：S1、将基底清理干净，放置于化学气相沉积室内；S2、对化学气相沉积室抽真空，然后用惰性气体清洗化学气相沉积室；S3、当室内温度达到...