本技术公开了一种用于六维力传感器标定的铝合金实验台，涉及六维力传感器标定技术领域，包括立柱框架，所述立柱框架的内部设置有二层器件安装层，所述立柱框架的外侧壁设置有三层外接梁滑轮出线层，所述立柱框架的上端设置有顶层滑轮悬挂层，所述二层器件...

本发明公开了一种基于MEMS工艺的硅压阻式六维力传感器及其制备方法，包括MEMS裸芯、商用ASIC及金属外壳；所述MEMS裸芯包括敏感检测层、底盖及顶盖；所述敏感检测层包括质量块和敏感梁，所述质量块和敏感梁连接，所述质量块外侧均匀设置有...

本发明公开了一种基于

本发明公开了一种环形梁

本发明公开了一种小型化的压电加速度传感器芯片，包括壳体、质量块、压电感应片、引出导线、支撑层和绝缘基座，所述支撑层分别设置于所述绝缘基座两端，所述压电感应片的两端分别固定于所述支撑层上，所述压电感应片两端分别设置有绝缘层，所述质量块位于...

本发明公开了一种小型化的纳米薄膜传感器，涉及薄膜传感器技术领域，包括定位套环，所述定位套环的内表壁固定安装有外接螺纹管，所述定位套环的顶部固定安装有空心套筒，所述外接螺纹管的内部设置有芯体构成机构，所述芯体构成机构包括不锈钢弹性体，所述...

本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种基于MEMS工艺的单轴压阻式加速度传感器，包括检测层，所述检测层的上下两侧均设置有保护盖板，所述检测层包括支撑框架，所述支撑框架中对称安装有两个质量块，所述支撑框架中安装有限位梁，两个所述...

本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种新型MEMS压阻式加速度传感器，包括外框，所述外框中安装有十字梁，所述十字梁用于将外框的内部分隔成四个安装区域，所述安装区域中安装有质量块，四个所述质量块分别通过一个应变梁与十字梁连接，四...

本实用新型公开了一种高抑制低通滤波器，涉及滤波领域，该高抑制低通滤波器包括：LC滤波模块，用于对输入信号进行滤波处理；LC滤波模块由多个滤波电路串联所构成，相邻的滤波电路正反相间安装；滤波电路包括第一电感、第一电容、第二电容、第三电容，...

本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器，包括硅片层，所述硅片层的两侧均设置有保护层，所述硅片层包括支撑框，所述支撑框中安装有质量块，所述质量块的两侧分别通过一个S桥与支撑框的内壁连接；所述S桥...

本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种低耦合的自限位压阻式加速度传感器，包括惯性力敏感检测层，所述惯性力敏感检测层的上下两侧均安装有保护盖板，所述惯性力敏感检测层包括安装块，所述安装块中开设有扇形的自限位卡槽，所述自限位卡槽中...

本申请实施例公开了一种基于IPD工艺的AWR

本申请实施例公开了一种混合带通滤波器，用于调节带通滤波器的传递函数，从而实现灵活调整带通滤波器的带宽等参数指标。本申请实施例方法包括：第一谐振模块、第二谐振模块、第一调节模块、输入模块以及输出模块；所述第一谐振模块分别与所述输入模块、所...

本发明公开了一种高温力传感器，涉及传感器技术领域，包括弹性体、薄膜敏感组件和测温组件；所述弹性体中间段呈方形柱状，所述薄膜敏感组件设置有四组，分别安装于弹性体中间段的四个面上；所述壳体固定套接于弹性体上，所述薄膜敏感组件位于壳体内；所述...

本申请实施例公开了一种混合带通滤波器，用于调节带通滤波器的传递函数，从而实现灵活调整带通滤波器的带宽等参数指标。本申请实施例方法包括：第一谐振模块、第二谐振模块、第一调节模块、输入模块以及输出模块；所述第一谐振模块分别与所述输入模块、所...

本实用新型公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及谐振器领域，包括衬底，所述衬底上表面刻蚀或腐蚀形成台阶，所述衬底表面覆盖有支撑层；所述衬底上非台阶处还刻蚀或腐蚀有凹槽；所述支撑层上设置有压电三明治结构，所述压电三明治结构从下到上依次包括底电极...

本发明公开了一种基于FBAR结构的压力传感器，涉及传感器技术领域，包括基底，基底顶部开设有凹槽，基底表面覆盖有绝缘层；绝缘层与基底顶部凹槽包围形成空气腔室；绝缘层上覆盖有支撑层，支撑层上设置有压电振荡堆；基底底部还开设有背部凹槽；还包括...