本发明公开了一种探针台真空自动侦测系统及侦测方法，包括机械平台单元、传感与识别单元、真空控制单元和中央控制单元。本发明的一种探针台真空自动侦测系统及侦测方法，通过在真空吸盘的真空管路中规则设置多模态传感器，多模态传感器实时侦测真空管路中...