本申请实施例公开了一种微电容检测电路及系统，检测频率可达3KHz，可实现高速数据采集，即1s内可采集3000组电容变化值；并且在该检测频率下的分辨率可达0.02pF，具有较高的检测精度；且该检测电路电路简单、体积小、集成度高。本申请包括...

本发明提供了一种增强涡流损耗抑制效率的磁致伸缩复合膜及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：将基底清洗干净后烘干，然后于真空条件下用等离子体对基片进行预清理；在预清理后的基底表面沉积FeGaB磁致伸缩薄膜层，然后在FeGaB磁致伸缩薄膜层...

本发明公开了一种用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法，涉及射频微电子机械系统领域和天线领域。该信号发射元包括：MEMS谐振器和辐射层，辐射层包括磁致伸缩薄膜或驻极体薄膜，辐射层设置在MEMS谐振器的谐振区的一侧，与谐振区紧密耦合，谐...

本实用新型涉及一种涡流抑制结构，包括磁致伸缩层，还包括绝缘介质层，所述绝缘介质层设置于所述磁致伸缩层内，用于打断涡流从而抑制体声波磁电天线涡流损耗。本实用新型在磁致伸缩层中插入绝缘介质层来减小涡流损耗，使体声波磁电天线的辐射效率提高，解...

本发明涉及一种涡流抑制结构，包括磁致伸缩层，还包括绝缘介质层，所述绝缘介质层设置于所述磁致伸缩层内，用于打断涡流从而抑制体声波磁电天线涡流损耗。本发明在磁致伸缩层中插入绝缘介质层来减小涡流损耗，使体声波磁电天线的辐射效率提高，解决了现有...