深圳云电电子有限公司专利技术

深圳云电电子有限公司共有1项专利

  • 本发明公开了晶圆表面状态检测装置及加工设备,属于晶圆加工领域,所述工作台的上表面连接有支撑板,所述工作台的上方设置有放置架,所述放置架的内壁开设有若干个放置槽,所述放置架的外表面连接有滑动槽,所述滑动槽的内部滑动连接有滑动板,所述滑动板...
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