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深圳市逸乐科技有限公司专利技术
深圳市逸乐科技有限公司共有1项专利
一种晶圆取放治具制造技术
本技术公开了一种晶圆取放治具,包括底座;所述底座上设有在一转移方向上分布的转移区以及装夹区;所述装夹区用于放置晶圆盒;转移组件,所述转移组件安装于所述转移区,所述转移组件包括两个相对设置的转移板;两个转移板之间形成转移空间;所述转移板上...
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