本申请提供的一种低导通电阻屏蔽栅沟槽MOSFET故障诊断方法及系统，涉及MOSFET故障诊断技术领域，通过在测量MOSFET稳态导通电阻之前，向探针与晶圆焊盘的接触界面以及MOSFET施加预先设定的瞬态电学激励；根据获取的接触界面和MO...