本实用新型公开了一种利用彩色共焦传感器快速测量Z向尺寸设备，涉及彩色共焦传感器技术领域，包括机架以及设置在机架内部的工作台，机架的侧立面固定设置有PC测量组件，工作台的上表面固定设置有加工机构，机架下表面的四角设置有支撑吸盘，通过彩色共...

本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种晶圆包装后晶圆间距测量装置，包括主架体和设置在主架体外表面上的PC电脑视觉分析软件，主架体包括设置在主架体内部的工作台，设置在工作台上表面的Y轴伺服运动模组和Z轴伺服运动模组，设置在Z轴伺服运动模组...