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深圳市光刻科技有限公司专利技术
深圳市光刻科技有限公司共有2项专利
一种MEMS硅膜气流传感器制造技术
本实用新型公开了一种MEMS硅膜气流传感器,包括PCB板、杯形的金属壳体;金属壳体的敞开口与PCB板的外边缘适配密封固定连接,且金属壳体与PCB板密封固定连接后形成一内腔体;在金属壳体上开设有上通孔,在金属壳体的上通孔表面设置一层具有防...
一种气压传感器制造技术
本实用新型公开了一种气压传感器,包括开口杯型金属材质的壳体,其底部设有通孔;在壳体的外表面设有通气防油阻水的覆膜层;在壳体的腔体内由底部向开口端依次层叠设有金属极板、绝缘垫片、绝缘环、气压感应件以及电路板。该气压传感器的覆膜层,具有阻隔...
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