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深圳华工量测工程技术有限公司专利技术
深圳华工量测工程技术有限公司共有8项专利
一种组合式同轴平行光源结构制造技术
本实用新型涉及平行光源技术领域,为一种组合式同轴平行光源结构,包括LED光源,还包括沿着所述LED光源的入射光路上依次布置的第一X向柱面镜、第一Y向柱面镜、第二Y向柱面镜、第二X向柱面镜及半透半反镜;所述半透半反镜的镜面与所述第二X向柱...
一种晶圆外观检测装置制造方法及图纸
本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种晶圆外观检测装置,包括底板,所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组,所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧,所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上;所述外观检测工位包...
一种晶圆外观自动检测与标记设备制造技术
本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备,包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位,所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧,所述外观检测工位设置于所...
一种组合透镜组及镜头制造技术
本实用新型涉及镜头设计技术领域,为一种组合透镜组及镜头,其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组;所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜,所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜,所述...
一种晶圆自动上料装置制造方法及图纸
本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种晶圆自动上料装置,包括底板、上料机构、X轴初定位机构、Y轴初定位机构以及搬运机构,所述上料机构设置于所述底板的一侧,X轴初定位机构、Y轴初定位机构和所述搬运机构均设置于所述底板上,且X轴初定位...
一种晶圆扩膜装置制造方法及图纸
本实用新型涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种晶圆扩膜装置,包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构;晶圆托板固定于基座上,所顶升驱动机构固定于晶圆托板的底面上,扩膜板与顶升驱动机构连接;晶圆托板上设置有与扩膜板相配...
一种晶圆生产设备及方法技术
本发明涉及晶圆生产技术领域,具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法,包括壳体,所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置...
一种组合透镜组及镜头制造技术
本发明涉及镜头设计技术领域,为一种组合透镜组及镜头,其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组;所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜,所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜,所述第三...
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