本实用新型专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测装置，包括底板，所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构以及寻边纠偏机构；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接。本实用新型专利技术将寻边纠偏机构设置在基板上，通过旋转驱动机构带动晶圆定位治具转动，配合寻边纠偏机构，可以实现自动寻边纠偏功能，且结构简单，易于操作，成本低。成本低。成本低。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆外观检测装置
[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种晶圆外观检测装置。
技术介绍
[0002]在晶圆生产过程中，晶圆的表面可能存在脏污、破损、划痕、开裂等不良现象，这些不良现象将会直接影响芯片的性能，因此为了保证芯片的质量，通常需要对晶圆的外观进行检测。现有的晶圆外观检测装置需要设置独立的寻边模块，不仅结构复杂，且价格昂贵；同时检测效率低下。
技术实现思路
[0003]为了克服上述现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种晶圆外观检测装置，能够实现自动寻边纠偏，且结构简单，易于操作，成本低，检测效率高。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术方案为一种晶圆外观检测装置，包括底板，所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构以及寻边纠偏机构；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接。
[0005]进一步地，所述底板上设置有两个所述外观检测工位，且两个所述外观检测工位并排设置于所述XY直线模组的一侧。
[0006]进一步地，所述寻边纠偏机构包括移载模组、光纤头以及安装块，所述移载模组固定于所述基板上，所述安装块滑动安装于所述移载模组上，所述光纤头安装于所述安装块的一端。
[0007]进一步地，所述晶圆定位治具包括定位板、压板以及下压驱动组件；所述定位板与所述旋转驱动机构连接，所述定位板的顶面上沿晶圆产品安装区域的周向间隔设置有若干定位柱；所述压板设置于所述定位板的上方，且所述压板的中间镂空；所述压板上相对的两端均连接有所述下压驱动组件。
[0008]更进一步地，所述基板上设置有安装环槽；所述旋转驱动机构包括驱动电机、主动齿轮、从动齿轮环以及皮带，所述驱动电机固定于所述基板上，所述驱动电机的输出轴与所述主动齿轮连接，所述从动齿轮环安装于所述安装环槽中，所述定位板与所述从动齿轮环连接；且所述主动齿轮与所述从动齿轮环通过皮带连接。
[0009]更进一步地，所述下压驱动组件包括压紧气缸安装座和压紧气缸，所述压紧气缸安装座固定于所述从动齿轮环上，所述压紧气缸固定于所述压紧气缸安装座的顶部，且所述压紧气缸的活动端与所述压板连接。
[0010]更进一步地，所述定位板上对应晶圆铁框的位置处间隔设置有若干电磁铁安装槽，所述电磁铁安装槽中安装有电磁铁。
[0011]更进一步地，所述定位板还设置有两个限位挡块，所述基板上设置有两个限位凸台，且两个限位凸台均位于两个限位挡块之间，且所述限位凸台位于所述限位挡块的转动路径上。
[0012]进一步地，所述视觉检测机构包括相机安装架和正面CCD相机组件，所述相机安装架安装于所述XY直线模组上，所述正面CCD相机组件安装于所述相机安装架上，且所述正面CCD相机组件位于所述晶圆定位治具的上方。
[0013]更进一步地，所述视觉检测机构还包括背面CCD相机组件，所述正面CCD相机组件和所述背面CCD相机组件分别安装于所述相机安装架的上端和下端，且所述背面CCD相机组件位于所述晶圆定位治具的下方；所述基板和所述晶圆定位治具的中间镂空。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0015]（1）本技术将寻边纠偏机构设置在基板上，通过旋转驱动机构带动晶圆定位治具转动，配合寻边纠偏机构，可以实现自动寻边纠偏功能，且结构简单，易于操作，成本低；
[0016]（2）本技术采用同一套视觉检测机构和XY直线模组实现双工位的晶圆外观检测，可以提高检测效率；
[0017]（3）本技术通过压板和电磁铁将晶圆铁框固定在定位板上，避免晶圆产品在晶圆定位治具转动过程中产生偏移；
[0018]（4）本技术可以单面检测，也可以双面同时检测。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]图1为本技术实施例提供的晶圆外观检测装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例提供的晶圆外观检测装置的结构示意图；
[0022]图3为本技术实施例提供的外观检测工位的结构示意图；
[0023]图4为本技术实施例提供的外观检测工位的结构示意图；
[0024]图5为本技术实施例提供的旋转驱动机构的结构示意图；
[0025]图中：1、底板；2、视觉检测机构；21、相机安装架；22、正面CCD相机组件；23、背面CCD相机组件；3、XY直线模组；31、X轴模组；32、Y轴模组；33、Y轴安装架；4、基板；41、安装环槽；42、限位凸台；5、晶圆定位治具；51、定位板；52、压板；53、定位柱；54、压紧气缸安装座；55、压紧气缸；56、电磁铁安装槽；57、推料气缸；58、限位挡块；6、旋转驱动机构；61、驱动电机；62、从动齿轮环；63、皮带；7、寻边纠偏机构；71、移载模组；72、光纤头；73、安装块；8、晶圆产品。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；在本技术的描述中，除非另有说明，“若干”的含义是两个或两个以上。
[0029]如图1
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图2所示，本技术实施例提供一种晶圆外观检测装置，包括底板1，所述底板1上设有外观检测工位、视觉检测机构2以及XY直线模组3，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组3的一侧，所述视觉检测机构2安装于所述XY直线模组3上；所述外观检测工位包括基板4、晶圆定位治具5、旋转驱动机构6以及寻边纠偏机本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆外观检测装置，包括底板，其特征在于：所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构以及寻边纠偏机构；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接。2.如权利要求1所述的一种晶圆外观检测装置，其特征在于：所述底板上设置有两个所述外观检测工位，且两个所述外观检测工位并排设置于所述XY直线模组的一侧。3.如权利要求1或2所述的一种晶圆外观检测装置，其特征在于：所述寻边纠偏机构包括移载模组、光纤头以及安装块，所述移载模组固定于所述基板上，所述安装块滑动安装于所述移载模组上，所述光纤头安装于所述安装块的一端。4.如权利要求1或2所述的一种晶圆外观检测装置，其特征在于：所述晶圆定位治具包括定位板、压板以及下压驱动组件；所述定位板与所述旋转驱动机构连接，所述定位板的顶面上沿晶圆产品安装区域的周向间隔设置有若干定位柱；所述压板设置于所述定位板的上方，且所述压板的中间镂空；所述压板上相对的两端均连接有所述下压驱动组件。5.如权利要求4所述的一种晶圆外观检测装置，其特征在于：所述基板上设置有安装环槽；所述旋转驱动机构包括驱动电机、主动齿轮、从动齿轮环以及皮带，所述驱动电机固定于所述基板上，所述驱动电机的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李林稳，林昌达，郭海兵，曾志东，叶胜浓，
申请(专利权)人：深圳华工量测工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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