本申请公开了一种基于分级标定图案的多通道图像对齐方法，该方法在测量治具上设置了一级与二级标定物，其中，一级标定物为预设高精度光刻标定板上的点状图案，二级标定物为材质与被测物做相近匹配的预设低精度的标定体。通过预扫描的方式可同时扫到一级和...

本申请公开了一种多通道跨工位对焦方法，包括：在第一工位扫描被测物时，同步获取被测物表面的三维高度轮廓数据；将三维高度轮廓数据进行插值处理，生成与第二工位扫描路径相匹配的预测高度数据；基于预先标定的坐标系转换矩阵，将预测高度数据映射至第二...

本实用新型涉及平行光源技术领域，为一种组合式同轴平行光源结构，包括LED光源，还包括沿着所述LED光源的入射光路上依次布置的第一X向柱面镜、第一Y向柱面镜、第二Y向柱面镜、第二X向柱面镜及半透半反镜；所述半透半反镜的镜面与所述第二X向柱...

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测装置，包括底板，所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包...

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备，包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位，所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧，所述外观检测工位设置于所...

本实用新型涉及镜头设计技术领域，为一种组合透镜组及镜头，其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组；所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜，所述...

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆自动上料装置，包括底板、上料机构、X轴初定位机构、Y轴初定位机构以及搬运机构，所述上料机构设置于所述底板的一侧，X轴初定位机构、Y轴初定位机构和所述搬运机构均设置于所述底板上，且X轴初定位...

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆扩膜装置，包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构；晶圆托板固定于基座上，所顶升驱动机构固定于晶圆托板的底面上，扩膜板与顶升驱动机构连接；晶圆托板上设置有与扩膜板相配...

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法，包括壳体，所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置...

本发明涉及镜头设计技术领域，为一种组合透镜组及镜头，其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组；所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜，所述第三...