本实用新型涉及一种三点支撑三点换位工件架，包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构，其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接，三点换位电机驱动换位机构转动换位；换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支...

本实用新型涉及一种微球沉积样品架装置，具有由步进电机驱动旋转的样品盘，还具有压电陶瓷振动器，压电陶瓷振动器设于真空室中，安装于步进电机输出端的样品架上，样品盘固定在压电陶瓷振动器上；还具有水平敲击组件，设于样品架的侧边。本实用新型在样品...

本实用新型涉及一种旋转式圆柱形磁控靶，具有圆柱形靶材和空心双轴磁流体，圆柱形靶材一端安装在空心双轴磁流体的外轴上，圆柱形靶材另一端设有封盖；圆柱形靶材内部设有极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件，极靴及磁铁、冷却水和电极接线组件一端安装在空...

本实用新型涉及一种伞形气动挡板，包括控制气缸、伞支杆及伞形挡板，其中控制气缸安装于伞支杆的一端，伞支杆的另一端连接伞形挡板；伞支杆为一细长形杆，细长形杆内部设有抽拉杆，抽拉杆的一端与控制气缸的活塞杆连接，抽拉杆的另一端连接伞形挡板的固定...

本实用新型涉及一种高速样品传输装置，具有装卡段、支撑段以及推样段，其中装卡段具有装载样品的卡装位，连接于支撑段的一端；支撑段连接装卡段及推样段；推样段连接于支撑段的另一端；装卡段具有多个扭簧机构，安装在支撑段一端的平面外缘；支撑段为一框...

本实用新型涉及一种错位样品架水平振动装置，包括移动样品架、振动组件以及步进电机，其中移动样品架设于真空室内，通过水平方向的传动装置与步进电机的输出轴传动连接，振动组件在真空室外，其输出端通过水平设置的柔性顶杆穿过真空室壁抵接于移动样品架...