山佳卫专利技术

山佳卫共有4项专利

  • 本实用新型提供了一种薄膜蒸镀设备及薄膜蒸镀系统,所述薄膜蒸镀设备包括匹配箱、喂料单元、主室;其中,所述喂料单元的一端设置有匹配箱,其另一端设置有主室;所述匹配箱的内部设置有射频源及直流源,用于产生等离子;所述喂料单元用于提供蒸镀的源材料...
  • 本实用新型提供了一种双面高速磨光机,用于对金属材料表面进行磨光,设于金属材料加工生产流水线的传输机构上,至少包括了两个磨光机构,所述两个磨光机构自所述金属材料的两侧,对传输过程中的金属材料的两侧表面进行磨光,每个所述磨光机构均通过一个旋...
  • 表面精密抛光装置及表面精密抛光用传动装置
    本发明提供了一种表面精密抛光装置及表面精密抛光用传动装置,所述表面精密抛光用传动装置用以驱动加工机构对加工对象进行精密抛光,包括了定子机构、转子机构和摆子机构,所述转子机构绕所述定子机构的轴心旋转,所述摆子机构与转子机构通过磁悬浮连接,...
  • 本实用新型公开高速轨道式研磨装置,包括定子、转子、转台、摆子、吸盘,所述定子固定于机架两侧,所述定子中心设置有中心轴,所述定子通过第一电磁轴承、第二电磁轴承与定子内侧的转子构成一对磁悬浮系统,所述摆子通过第三电磁轴承、第四电磁轴承与转子...
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