本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种高效稳定的半导体夹片机构，包括两个旋转柱、驱动旋转柱的驱动组件；驱动组件包括：驱动电机；连接杆，中部与驱动电机的电机轴啮合连接，由驱动电机带动连接杆转动，连接杆的一段为弯折段，连接杆的一端位于一...

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种均匀喷射出料管，包括外管和内管，内管插入于外管内并与外管的内壁具有预设距离，内管的一侧伸出于外管并作为原料入口；内管上设置有一排内出料口和至少一个内排料口，内出料口沿内管的轴向成排设置于内管的上...

本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种兼容式花篮夹持装置，包括两个夹棒、夹具以及驱动组件；驱动组件包括：横移机构，具有做水平横移的横移端；过度滑块，设置有凸轮槽口，过度滑块连接于横移机构的横移端；两个凸轮随动器，各凸轮随动器的一端滑...

本发明属于伸缩结构技术领域，具体涉及一种节省空间且高效的多级伸缩搬运机构包括：主体板；一级横移机构，设置在主体板上，一级横移机构具有驱动机构和一级横移端；连接板，连接于一级横移端；二级横移机构，具有二级横移端和二级传动机构，二级横移端通...

本发明属于管材加工技术领域，具体涉及一种迷你型不锈钢管路折弯器。迷你型不锈钢管路折弯器包括：固定板；导向座，导向座可转动的安装在固定板上；限位座，限位座可转动的安装在固定板上且位于导向座侧边后方；手柄，手柄可绕导向座转动的安装在导向座侧...

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成...

本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种高效倒片机及其使用方法。其中，一种高效倒片机，包括一机架，机架上设置有工作台；工作台上设置有第一上料口、第二上料口、第一工位和第二工位；高效倒片机还包括：第一运送机构，将放置有硅片的第一材质花篮从第...