本发明关于一种针对卡盘工作台的清洗装置，涉及半导体设备卡盘工作台的清洗装置技术领域。包括立柱、旋转执行器、清洗摆臂、摆臂连接件和可升降清洗组件；旋转执行器安装于立柱上方，清洗摆臂安装于旋转执行器上方，摆臂连接件固定在清洗摆臂一侧，可升降...