本申请属于电路技术领域，尤其涉及一种基于并联谐振单元的功放电路，其包括：功放单元，用于将输入电压变换为指定波形；与所述功放单元的输出端电连接的第一谐振单元；以及，与所述功放单元的输出端电连接的第二谐振单元；其中，所述第一谐振单元包括负载...

本申请属于半导体技术领域，尤其涉及一种半导体加工电路、方法、装置、设备及介质，电路包括等离子体反应腔；能源电路；射频源；以及，控制器，用于根据射频源输入至等离子体反应腔的实际直流分量和待加工工艺的理论直流分量调整射频源的输出，以补偿实际...

本申请提供了一种电流传感器、电流测量装置及测量方法，电流传感器包括：射频传输单元，用于传输射频信号；测量单元，所述测量单元被设置在所述射频传输单元的一侧，用于生成因所述射频信号而产生的感应电动势；移动单元，所述移动单元与所述测量单元连接...

本发明提供了一种支持脉冲监测功能的射频等离子体源，包括：射频电路、功率探测器、RF输出单元、反馈控制单元、数据处理单元、存储器和上位机PC。射频电路的输出端连接功率探测器的输入端，RF输出单元的输入端连接功率探测器的第一输出端，功率探测...

本发明提供了一种应用在E类射频功放的主动负载感性钳位电路，包括：射频扼流圈、MOSFET S1、驱动模块、并联电容、谐振电感L0、谐振电容C0、钳位电路和负载。其中MOSFET S1的栅极连接驱动模块的输出端，接收驱动信号，MOSFET...