本实用新型公开了一种生产四氯化硅的系统装置。本实用新型通过一套包括精馏塔、容器、贮罐、反应器、冷却器、加热器、机泵等设备和工艺管道、阀门、控制系统的密闭的化工装置来实现。具体包括原料罐、硅粉回收系统、四氯化硅纯化系统与四氯化硅精制系统。...