本申请实施例涉及等离子技术领域，公开了离子源的中和激发装置，包括：壳体，围限形成一腔室，且构造有用于供电子流通过的释放孔，腔室内充有惰性气体；灯丝，设于腔室内，且外接灯丝电源，以通电产生电子流，电子流与惰性气体碰撞形成等离子体；中和电源...