本发明提供一种5纳米芯片制造的柔性印刷方法，涉及芯片设计及制造。本发明的方案是：将耐蚀刻材料浸入印台盒里的海绵中作为油墨；在印模上用激光直写刻出需要的蚀刻掩模图形；将印模水平放置在工作台上；将印台盒海绵一面朝下，放下印台盒压到印模上，给...

本发明提供一种5纳米芯片制造的反图双重曝光方法，涉及芯片设计及制造。本发明的方案是：按5nm光刻线宽设计版图，再将版图拆分为双重曝光需要的两张分图；接着设计两张分图的反图；接下来按照反图制造光刻掩膜版；晶圆准备；然后，第1次曝光从在晶圆...

本发明提供一种5纳米芯片制造的直接蚀刻方法，涉及芯片设计及制造。本发明的方案是：按5nm蚀刻线宽设计芯片版图，设计蚀刻掩模版后，用激光直写光刻机刻出蚀刻掩模版；晶圆准备好后将蚀刻掩模版紧靠晶圆上表面，用等离子体进行干法蚀刻；蚀刻结束后移...

本发明提供一种无干扰侧向停车环保型双层停车设备，涉及汽车用品。该设备包括地面载车板、二层载车板、地面牵引系统、二层牵引系统、支撑梁、活动支柱、变重机构、平衡配重、缓冲蓄能器、分离式导向器、主体框架、顶棚、自控系统；地面载车板及车辆在地面...

本发明提供一种花园垃圾吸收器，涉及日常卫生用品。该产品包括吸收头、垃圾管道、旋转铰刀、离心风扇、直流电动机、锂电池组、垃圾盒、操作小车；其中，吸收头上安装有刀刃，吸收头安装在垃圾管道下方；锂电池组、垃圾盒安装在操作小车底部空间，旋转铰刀...