本发明涉及一种用于对具有未知材料的平的物体(20)的物体表面(40)进行轮廓测量的方法和装置(2)，该装置包括：光学干涉测量系统(4)；椭圆偏振测量系统(5)；用于将光源(111)的光束分裂成干涉测量光束(410)和椭圆偏振光束(420...

本发明涉及一种用于通过干涉式距离测量来感测物体的物体表面(30)的表面轮廓的光学装置和系统，包括：用于将光源(7)的光束(84)分成第一子光束(410)和第二子光束(420)的分光器(3)；用于将光源(7)的每个子光束(410，420)...