用于光致抗蚀剂溶解液的具有低产生凝聚物量和充分消泡效果的消泡剂，添加该消泡剂的光致抗蚀剂溶解液、使用该光致抗蚀剂溶解液的溶解方法。其特征是含有式（１）表示的化合物Ａ和化合物Ｂ作为必要成分，Ｒ－Ｏ（ＣＨ↓［２］ＣＨ↓［２］Ｏ）↓［ｍ］－（...