瑞士CSEM电子显微技术研发中心专利技术

瑞士CSEM电子显微技术研发中心共有21项专利

  • 本发明涉及一种用于构造光耦合系统的方法,其中,光栅被制造在多模波导的表面上并且限定了波导针对入射光束的入口,所述光栅包括重复图案。光栅由一组参数进行限定,该组参数包括:分隔两个相邻图案的光栅周期(P),图案的最高点和最低点之间的光栅深度...