螺旋真空泵包括若干个壳体和一对转子，这样就构成了若干个工作室，这些工作室中的一部分，其容积在转子转动时将产生变化，而另一部分则基本上没有变化．螺旋真空泵可利用一单级泵而获得１０＋［－１］至１０＋［－４］托的压强，即达到低真空或中真空．