本发明涉及利用螺杆缸体的气体处理设备用粉末去除装置，其通过在活塞杆根据流体的供给方向沿着一个方向旋转而前进或沿着相反方向旋转而后退的螺杆缸体上结合刮削器的构造来能够容易且有效地去除粘附在气体处理设备管道内周面或气体处理设备内壁面的粉末。...

本发明涉及一种MIMO系统，其包括歧管，所述歧管能够控制包括在半导体或显示器工序中产生的废气的流体的温度及流动，所述各个歧管可以包括一个供应管、一个旁通管、两个排出管，一个供应管，或包括0个旁通管、两个排出管。两个排出管。两个排出管。

提供净化集成半导体废气的装置，其包括：盖子，其包括安装在其上以产生火焰的燃烧器和多个在燃烧器圆周上形成以使废气从中流过的废气入口管；反应器，其包括在其上形成的上开口和下开口以使盖子与上开口可拆卸地连接，越向其下部直径越小的逐渐变细的会聚...

本发明是涉及一种基板接合装置及基板接合方法，其包括：基架，其位于基底上，并且对从外部进入的第一基板进行排列安装并固定；基板夹紧部，其位于上述基架的上部，从而对从外部进入的第二基板进行夹紧，以便接合于上述第一基板；水平驱动部，其对上述基板...

本发明涉及提供一种面板姿态控制装置，具体地涉及使用于制作显示面板的液晶面板或保护玻璃的姿态进行控制的装置。根据本发明，其包括：基础框架；旋转框架，其在上述基础框架可以进行旋转而结合；面板固定部，其在上述旋转框架可进行旋转而结合；第一驱动...

本发明涉及用于维持面板平坦的装置，具体地涉及能够维持用于制作显示面板的液晶面板或者保护玻璃的平坦的装置。根据本发明其包括：面板固定部，其具有多个面板粘合器，上述多个面板粘合器形成有对面板进行粘合的粘合部，并且上述粘合部分别位于扁平的平面...