本发明为一种半导体与光电制程尾气处理方法，将水（Ｈ↓［２］Ｏ）激化成电浆态（Ｐｌａｓｍａ　　ｓｔａｔｕｓ），同时利用电浆所产生的高温与Ｈ和Ｏ的自由基来破坏与反应有毒废气与含氟与氯等卤素化合物，使破坏后的有毒废气与Ｈ和Ｏ同时化合，而让有毒...