一种有机聚合物等离子刻蚀工艺误差对器件影响的补偿方法：采用微扰分析方法对来自理论设计的版图与制作后的样品之间的误差通过优化设计和调整工艺条件进行修正，消除理论设计的版图与制作后的样品之间的误差。本发明对于改进聚合物电光材料的工艺过程、提...