本技术提供一种半导体材料光敏固化装置，涉及半导体加工技术领域，包括工作台，所述工作台的上端安装有运输机构，所述运输机构的内部放置有若干托盘，所述工作台的后侧安装有支撑架，所述支撑架的内部安装有固化机构。本技术中通过上料装置来将托盘和原料...