本发明涉及一种涡旋真空泵，其包括：泵系统；驱动轴，该驱动轴具有用于驱动该泵系统的偏心段；以及用于驱动该驱动轴的电动驱动电机。其中，沿该驱动轴的旋转轴线设有至少两个彼此间隔的轴承位，用于对驱动轴进行旋转支承，并且所有轴承位均位于该驱动电机...

本发明涉及一种用于具有多个通道的部件的密封性检查和/或泄漏测量的方法，该方法包括：将预定的入口状态施加到部件的通道的入口配置处；测量部件的通道的出口配置处的出口状态；以及基于所述测量来确定部件的密封性状态和/或泄漏速率；其中入口配置具有...

本发明涉及一种真空设备，包括：监测模块，其设计为用于监测真空设备的运行参数；和无线接口模块，其设计为用于与远离真空设备的评估装置的无线接口模块通信，并且将运行参数提供至评估装置。

本发明涉及一种真空阀，用于中、高或超高真空系统。真空阀包括：阀壳，限定连接阀壳的第一开口和第二开口的通道；设置在通道中的阀体和互补的阀座，阀体和/或阀座包括密封构件，并且阀体在打开位置和关闭位置之间沿线性轴向方向可移动，其中阀体在关闭位...

本发明涉及一种真空泵或包括至少一个真空泵的真空系统，其中将惯性测量单元分配给真空泵，该惯性测量单元包括至少一个惯性传感器，该惯性传感器设计为获取真空泵的运动和/或真空泵的取向，并且提供与之相关的测量数据和/或提供通过评估该测量数据获得的...