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PSK专利技术

PSK共有2项专利

基板处理设备制造技术

本发明提供一种用以处理基板的设备

最后更新日期：2023-12-03 20:03 访问量：43
防止夹环脱离的基板移送装置及处理装置制造方法及图纸

公开一种基板移送装置和基板移送方法，在通过末端执行器手爪的基板的移送过程中，能够抑制按压基板的周边部的夹环的错位和掉落

最后更新日期：2023-12-03 19:31 访问量：16