一种用于从处理室泵送气体的真空泵，所述泵包括：转子，所述转子由驱动轴支撑以便在泵送室中旋转，所述轴延伸穿过泵送室的横向于驱动轴延伸的壁中的轴孔；和设置在轴和横向壁之间的密封装置，用于阻止气体通过轴孔，其中，在转子旋转时，气体从泵送室入口...